+ 09.07.2010 + Photovoltaik-Beschichtung: Vakuumlösungen aus der Forschung für die Serienproduktion.

Das von Oerlikon Leybold Vacuum angebotene Vakuumgesamtsortiment unterstützt alle Photovoltaik-Herstellungsprozesse im Grobvakuum, Feinvakuum, Hoch- und Ultrahochvakuumbereich. Pumptechnologien, Systeme und Dienstleistungen umfassen Bauteile, standardisierte Systeme und komplette kundenspezifische Vakuumlösungen.

 

Das Lieferprogramm beinhaltet ölgedichtete Drehschieber- und Kolbenpumpen, trocken verdichtende und öl-freie Pumpen, Wälzkolbenpumpen, Turbomolekular-, Öldiffusions- und Kryo-Vakuumpumpen sowie Standard und kundenspezifische Beschichtungssysteme für die Forschung. Die Vakuumdienstleistungen im Bereich Reparatur und Modernisierung von Vakuumpumpen aller Hersteller vervollständigen das Spektrum an Vakuumprodukten.

 

Beginnend im Bereich der Photovoltaikforschung und der Nanotechnologien, bietet Oerlikon Leybold Vacuum seinen Kunden optimierte Vakuumlösungen bei verringerten Betriebskosten und erhöhter Produktionszuverlässigkeit und Wirtschaftlichkeit. Die wohl bekannte UNIVEX Baureihe an universellen Experimentier-PVD-Vakuumbeschichtungssystemen zum Einsatz im Bereich von Forschung und Entwicklung sowie Pilot-Produktionsanwendungen ist verfügbar in Konfigurationen mit unterschiedlichen Vakuumkammergrößen unter Verwendung von Glocken-, Edelstahlrechteck-Kammern sowie Cluster-Werkzeugkonfigurationen.

 

Die UNIVEX Systeme bieten serienmäßig viele Eigenschaften und Optionen, einschließlich Hochvakuumpumpsysteme, Stromversorgungen, SPS, eine Vielzahl von Substrathaltern, Schichtdicken- und Vakuummess- sowie Kühlungs- und Heizungs-Systemen, Durchführungen, Einblickfenster und Gaszuführungen. Eine Reihe verschiedener Modelle von thermischen und Elektronenstrahlverdampfern, Gleichspannungs- und Hochfrequenz-Zerstäubungsquellen, Verdampfer für organische Materialien sowie Schleusenkammerversionen ist erhältlich.

 

„Die Familie der UNIVEX Universal-Experimentiersysteme stellt ein weiteres Beispiel für moderne Vakuumprozesstechnik in einem schon sehr umfassenden Sortiment an schlüsselfertigen Vakuumsystemlösungen von Oerlikon Leybold Vacuum dar. Unsere Kunden können ihre Forschungs- und Entwicklungs- oder Pilotproduktions-Beschichtungssysteme aus einer Hand erwerben. Dabei können sie aus einem breit gefächerten Angebot an Standard- und Mehrzweck-Konfigurationen entsprechend ihren spezifischen Anforderungen auswählen.

 

Zusätzlich können sie bei der Auswahl der UNIVEX Systeme sich auf eine zuverlässige Unterstützung für ihr gesamtes Projekt, beginnend mit der ingenieurmäßigen Beratung, Installation und Schulung bis zur Wartung verlassen“, so Brett A. Rock, Regional Marketing Manager bei Oerlikon Leybold Vacuum USA.

Oerlikon Leybold Vakuum GmbH 2010